de Rooij, N. F.Haemmerli, A.2009-05-122009-05-122009-05-12198310.5169/seals-904792https://infoscience.epfl.ch/handle/20.500.14299/39788Micro-capteurs basés sur le silicium et éléments électroniques sensibles aux espèces chimiquestext::journal::journal article::research article