Influence de l'énergie des ions et de la température de l'objet lors de l'amincissement par bombardement ionique de GaAs

Spycher, RSchmidt, FBuffat, PA2007-02-152007-02-152007-02-151988https://infoscience.epfl.ch/handle/20.500.14299/2658Effect ion energy and object temperature on thinning by ion bombardment of GaAsInfluence de l'énergie des ions et de la température de l'objet lors de l'amincissement par bombardement ionique de GaAstext::journal::journal article::research article