Auf zehn Nanometer genau - Positioniertisch für die Mikromontage
1995
Détails
Titre
Auf zehn Nanometer genau - Positioniertisch für die Mikromontage
Auteur(s)
Zesch, W. ; Codourey, A. ; Büchi, R. ; Siegwart, R.
Publié dans
Technische Rundschau, TR Transfer
Numéro
29/30
Date
1995
Editeur
Bern, Hallwag
Laboratoires
LSA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LSA - Laboratoire de systèmes autonomes 1
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2006-12-07