Nano-gap MEMS resonators and adapted oscillator design
2006
Détails
Titre
Nano-gap MEMS resonators and adapted oscillator design
Auteur(s)
Mazza, M. ; Badila, D. ; Perruisseau-Carrier, J. ; Ionescu, A. M. ; Skrivervik, A.
Présenté à
NanoTimer Workshop on Micro-Electro-Mechanical Resonators: from Technology to Applications, Lausanne, Switzerland, 2006
Date
2006
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LEMA - Laboratoire d'électromagnétisme et antennes
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > MAG - Microwave and Antenna Group
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > MNWAVE - Adaptive Micronano Wave Systems
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2006-11-30