A Silicon Condenser Microphone with a Highly Perforated Backplate
1991
Détails
Titre
A Silicon Condenser Microphone with a Highly Perforated Backplate
Auteur(s)
Bergqvist, J. ; Rudolf, F. ; Maisano, J. ; Parodi, F. ; Rossi, M.
Publié dans
Proc. Transducers '91
Date
1991
Laboratoires
LEMA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LEMA - Laboratoire d'électromagnétisme et antennes
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2006-11-30