Détails
Titre
Thin-Film Sputter Deposition for Hybrid Applications
Auteur(s)
Muralt, P. ; Seidel, J. P.
Publié dans
Vacuum
Volume
41
Numéro
4-6
Pages
1400-1402
Date
1990
ISSN
0042-207X
Note
Muralt, P Balzers Ag,Proc & Equipment Labs,Ch-9496 Balzers,Switzerland
Ee547
Cited References Count:3
Ee547
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Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2006-08-21