Fabrication and characterization of three-dimensional micro-lens arrays in sol-gel glass
2006
Détails
Titre
Fabrication and characterization of three-dimensional micro-lens arrays in sol-gel glass
Auteur(s)
Orhan, J.-B. ; Parashar, V.K. ; Sayah, A. ; Gijs, M.A.M.
Publié dans
Journal of Microelectromechanical Systems
Volume
15
Numéro
5
Pages
1159-1164
Date
2006
Autres identifiant(s)
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DAR: 9468
DAR: 9468
Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2006-08-18