Low temperature co-fired ceramic (LTCC) structures for sensor and fluidic applications
2004
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Détails
Titre
Low temperature co-fired ceramic (LTCC) structures for sensor and fluidic applications
Auteur(s)
Birol, Hansu ; Maeder, Thomas ; Jacq, Caroline ; Ryser, Peter
Publié dans
106th Annual Meeting & Exposition of The American Ceramics Society, Indianapolis (USA)
Présenté à
106th Annual Meeting & Exposition of The American Ceramics Society, Indianapolis (USA)
Date
2004
Mots-clés (libres)
Note
Résultats sur la structuration de membranes en LTCC avec la technique du carbone sacrificiel.
Laboratoires
LPM
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LPM - Laboratoire de production microtechnique
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2006-06-22