Effet des interconnexions brasées sur le signal de capteurs de force réalisés en technologie des couches épaisses

Ce travail présente les résultats de mesure sur des capteurs de force à poutre (cantilever), réalisés en technologie des couches épaisses et assemblés par brasure tendre Sn-Ag (Sn96). Les phénomènes de relaxation de la brasure tendre entraînent une dérive du signal de sortie des capteurs. Les résultats sont discutés en fonction de la procédure de brasage et des paramètres géométriques des capteurs (dimensions de la poutre et placement des résistances de mesure), et des recommandations pour la conception de ces capteurs sont données.


Published in:
12e Forum de l’Interconnexion et du Packaging Microelectronique, IMAPS Versailles 2002, 37-43, 2002., 37-43
Presented at:
12e Forum de l’Interconnexion et du Packaging Microelectronique, IMAPS, Versailles (FR)
Year:
2002
Keywords:
Note:
Stabilité de MilliNewton,erreurs dues à la brasure. Les erreurs dues à la brasure tendre sont encore trop élevées...
Laboratories:


Note: The status of this file is: EPFL only


 Record created 2006-06-22, last modified 2018-01-27

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