3D Micropatterning of Glass with Spark Assisted Chemical Engraving
2003
Détails
Titre
3D Micropatterning of Glass with Spark Assisted Chemical Engraving
Auteur(s)
Fujisaki, K ; Fascio, Valia ; Wüthrich, Rolf ; Viquerat, Didier ; Bleuler, Hannes
Présenté à
European Congress on Advanced Materials and processes (EUROMAT), Lausanne
Date
2003
Mots-clés (libres)
Laboratoires
LSRO
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LSRO - Laboratoire de systèmes robotiques
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2006-06-09