Three-dimensional microstructuring of Pyrex glass wafers by spark-assisted chemical etching
2001
Détails
Titre
Three-dimensional microstructuring of Pyrex glass wafers by spark-assisted chemical etching
Auteur(s)
Langen, Hans ; Fascio, Valia ; Wüthrich, Rolf ; Viquerat, Didier
Publié dans
Microrobotics and Microassembly III
Présenté à
Microrobotics and Microassembly III, October 29-30, 2001
Date
2001
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Laboratoires
LSRO
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LSRO - Laboratoire de systèmes robotiques
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Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2006-06-06