Spark Assisted Chemical Engraving in the light of electrochemistry
2004
Détails
Titre
Spark Assisted Chemical Engraving in the light of electrochemistry
Auteur(s)
Fascio, Valia ; Wüthrich, Rolf ; Bleuler, Hannes
Publié dans
Electrochimica Acta
Volume
49
Numéro
22-23
Pages
3997-4003
Date
2004
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LSRO
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LSRO - Laboratoire de systèmes robotiques
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2006-06-02