Oblique Powder Blasting for Three-dimensional Micromachining of Brittle Materials
2000
Détails
Titre
Oblique Powder Blasting for Three-dimensional Micromachining of Brittle Materials
Auteur(s)
Belloy, E. ; Sayah, A. ; Gijs, M. A. M.
Présenté à
Proceed. Eurosensors XIV, the 14th European Conference on Solid-State Transducers, Copenhagen, Denmark, August 27-30
Date
2000
Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2005-10-26