Détails
Titre
Micromachining of glass inertial sensors
Auteur(s)
Belloy, E. ; Sayah, A. ; Gijs, M.A.M.
Publié dans
Journal of Microelectromechanical Systems
Volume
11
Pages
85-90
Date
2002
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
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Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2005-10-26