New results on powder blasting techniques applied to the manufacture of piezocomposite structures
2002
Résumé
We present the last results concerning investigation of powder blasting techniques to micromachined complex-patterned piezoelectric composite transducers. This technology consists of a beam of eroding powder particles, etching an in-situ-masked PZT plate. We manufacture honeycomb-patterned structures, which can not be achieved with a standard saw-dicing technique.
Détails
Titre
New results on powder blasting techniques applied to the manufacture of piezocomposite structures
Auteur(s)
Wilm, M. ; Clatot, S. ; ayah, A. ; Robert, L. ; Daniau, W. ; Gijs, M. ; Ballandras, S.
Publié dans
Proceedings of the Ultrasonics Symposium
Volume
2
Pages
1115-1118
Présenté à
IEEE Ultrasonics Symposium, Munich, Germany, October 8-11, 2002
Date
2002
ISBN
0-7803-7582-3
Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2005-10-26