Nanoreplication of diffractive optical devices in Spin-on-Glass (SOG) technology
2002
Détails
Titre
Nanoreplication of diffractive optical devices in Spin-on-Glass (SOG) technology
Auteur(s)
Parashar, V.K. ; Sayah, A. ; Gijs, M.A.M. ; Pfeffer, M. ; Schoch, F. ; Gobrecht, J.
Présenté à
TopNano 21, 3rd Annual Report, Bern, Switzerland
Date
2002
Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2005-10-26