Nano-replication of diffractive optical elements in sol-gel derived glasses
2003
Détails
Titre
Nano-replication of diffractive optical elements in sol-gel derived glasses
Auteur(s)
Parashar, V.K. ; Sayah, A. ; Pfeffer, M. ; Schoch, F. ; Gobrecht, J. ; Gijs, M.A.M.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
67-68
Pages
710-719
Date
2003
Autres identifiant(s)
Afficher la publication dans Web of Science
Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
Publié
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
Publié
Date de création de la notice
2005-10-26