Diffractive optical elements in titanium oxide for MOEMS applications
2003
Détails
Titre
Diffractive optical elements in titanium oxide for MOEMS applications
Auteur(s)
Parashar, V.K. ; Sayah, A. ; Cuche, E. ; Depeursinge, C. ; Gijs, M.A.M.
Publié dans
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers
Volume
2
Pages
1482-1485
Présenté à
TRANSDUCERS ’03, The 12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, USA, June 8-12, 2003
Date
2003
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LMIS2
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS2 - Laboratoire de microsystèmes 2
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2005-10-26