Capacitive detection method evaluation physical parameter extraction from finite element for silicon accelerometer by simulations
1997
Résumé
A capacitance evaluation method based on the extraction of physical parameters from finite element (FE) analysis is presented. Mechanical simulations and this capacitance evaluation method were applied to a new, highly symmetrical, silicon accelerometer in view of globaly modeling the sensor system. The commercial hardware description language HDL-A(TM) is used to develop a compact behavioral macromodels for SPICE simulators.
Détails
Titre
Capacitive detection method evaluation physical parameter extraction from finite element for silicon accelerometer by simulations
Auteur(s)
Ansel, Yannick ; Romanowicz, Bartlomiej ; Laudon, M. ; Renaud, Philippe ; Schropfer, G.
Publié dans
SISPAD '97 - 1997 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES
Volume
1
Pages
129-132
Présenté à
1997 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD 97), CAMBRIDGE, MA, SEP 08-10, 1997
Date
1997
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LMIS4
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS4 - Laboratoire de microsystèmes 4
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2005-09-13