From simple devices to promising microsystem applications
Lerch, P.; Dubochet, O.; Renaud, Philippe
1997
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Fichiers

Résumé

We discuss both limitations and potentialities of micromechanical devices based on simple microtechnologies. We briefly review flow sensors and their applications. Underlying technologies and prospective applications are discussed.

Détails

Titre From simple devices to promising microsystem applications
Auteur(s) Lerch, P. ; Dubochet, O. ; Renaud, Philippe
Publié dans 1997 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS - PROCEEDINGS, VOLS 1 AND 2
Pages 59-62
Présenté à 21st International Conference on Microelectronics, NISH, YUGOSLAVIA, SEP 14-17, 1997
Date 1997
Autres identifiant(s) Afficher la publication dans Web of Science
Laboratoires LMIS4
Le document apparaît dans Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS4 - Laboratoire de microsystèmes 4
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice 2005-09-13

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