High Resolution Backside Imaging and Thermography using a Numerical Aperture Increasing Lens
2004
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Détails
Titre
High Resolution Backside Imaging and Thermography using a Numerical Aperture Increasing Lens
Auteur(s)
Ünlü, M. S. ; Ippolito, S. B. ; Eraslan, M. G. ; Thorne, S. A. ; Vamivakas, A. N. ; Goldberg, B. B. ; Leblebici, Y.
Présenté à
2004 Nanotechnology Conference and Trade Show, March 2004
Date
2004
Note
Proceedings of the 2004 Nanotechnology Conference and Trade Show, March 2004
Laboratoires
LSM
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LSM - Laboratoire de systèmes microélectroniques
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2005-08-30