Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de silicium
2001
Fichiers
Détails
Titre
Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de silicium
Auteur(s)
Magni, David
Directeur(s)
Pagination
178
Date
2001
Editeur
Lausanne, EPFL
Langue
Français
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Production scientifique et compétences > Thèses EPFL
Travail produit à l'EPFL
Publié
Thèses
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Date de création de la notice
2005-03-16