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Détails
Titre
New micromachining technologies using porous silicon
Auteur(s)
Lammel, Gerhard
Directeur(s)
Pagination
153
Date
2001
Editeur
Lausanne, EPFL
Langue
Anglais
Laboratoires
LMIS4
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS4 - Laboratoire de microsystèmes 4
Production scientifique et compétences > Thèses EPFL
Travail produit à l'EPFL
Publié
Thèses
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Date de création de la notice
2005-03-16