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Thesis

New micromachining technologies using porous silicon

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2387 (2001)
    Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur
    Laboratoire de microsystèmes 4
    Jury: Patrik Hoffmann, Hans Lueth, Wolfgang Menz, Edward Motamedi, Radivoje Popovic, René Salathé

    Public defense: 2001-5-11

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

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