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Thesis

Thermally actuated micro-mirror for one and two-dimensional optical beam scanning

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2359 (2001)
    Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur
    Laboratoire de microsystèmes 4
    Jury: Hannes Bleuler, Nico de Rooij, Patrick J. French, Gregory Kovacs, Andres Lagos, René Salathé

    Public defense: 2001-3-30

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

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