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Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive
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Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées[...]
-
Diserens, Matthieu
- 2129
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EPFL_TH2129
version 1
EPFL_TH2129.pdf
[7.54 MB]
27 Jan 2018, 13:39
Texte intégral / Full text
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