Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive: propriétés électroniques, mécaniques et résistance à l'oxydation
2000
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Details
Title
Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive: propriétés électroniques, mécaniques et résistance à l'oxydation
Author(s)
Diserens, Matthieu
Advisor(s)
Pagination
125
Date
2000
Publisher
Lausanne, EPFL
Language
French
Record Appears in
Scientific production and competences > EPFL Theses
Work produced at EPFL
Published
Theses
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Record creation date
2005-03-16