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Thesis

Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive: propriétés électroniques, mécaniques et résistance à l'oxydation

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2129 (2000)
    Faculté des sciences de base
    Jury: Dieter Landolt, Giorgio Margaritondo, Jörg Patscheider, Jérôme Perrin, Christophe Rousselot

    Public defense: 2000-3-3

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

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