Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive propriétés électroniques, mécaniques et résistance à l'oxydation


Advisor(s):
Lévy, Francis
Year:
2000
Publisher:
Lausanne, EPFL


Note: The status of this file is: EPFL only


 Record created 2005-03-16, last modified 2018-10-01

Texte intégral / Full text:
Download fulltext
PDF

Rate this document:

Rate this document:
1
2
3
 
(Not yet reviewed)