Infoscience

Thesis

Propriétés mécaniques et microstructures de films minces de TiN

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2061 (1999)
    Faculté des sciences de base
    Jury: Ayat Karimi, Francis Lévy, Jean-Luc Loubet, Giorgio Margaritondo, Jacques Rabier

    Public defense: 1999-10-15

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

Fulltext

Related material

Contacts

EPFL authors