Infoscience

Thesis

Déposition assistée par un plasma à arc à haut courant continu de couches minces de nitrure de bore et de silicium microcristallin hydrogéné

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2029 (1999)
    Faculté des sciences de base
    Centre de recherches en physique des plasmas
    Jury: Francis Lévy, Giorgio Margaritondo, Mauro Pedrazzini, André Ricard

    Public defense: 1999-9-17

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

Fulltext

Related material