Déposition assistée par plasma radiofréquence dans un réacteur de grande surface: effets de la contamination particulaire et de la fréquence d'excitation
1998
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Détails
Titre
Déposition assistée par plasma radiofréquence dans un réacteur de grande surface: effets de la contamination particulaire et de la fréquence d'excitation
Auteur(s)
Sansonnens, Laurent
Directeur(s)
Pagination
150
Date
1998
Editeur
Lausanne, EPFL
Langue
Français
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > Thèses EPFL
Travail produit à l'EPFL
Publié
Thèses
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Date de création de la notice
2005-03-16