Genèse, croissance et conséquences de particules dans les plasmas en silane à basse pression et basse température
1996
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Title
Genèse, croissance et conséquences de particules dans les plasmas en silane à basse pression et basse température
Author(s)
Dorier, Jean-Luc
Advisor(s)
Pagination
172
Date
1996
Publisher
Lausanne, EPFL
Language
French
Record Appears in
Scientific production and competences > EPFL Theses
Work produced at EPFL
Published
Theses
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Record creation date
2005-03-16