Formation of nano-sized silicon powders from silicon clusters in a silane plasma
1996
Détails
Titre
Formation of nano-sized silicon powders from silicon clusters in a silane plasma
Auteur(s)
Dutta, J. ; Houriet, R. ; Hofmann, H. ; Dorier, J.-L. ; Howling, A. A. ; Hollenstein, Ch.
Publié dans
ECASIA95: 6th European Conference on Applications of Surface & Interface Analysis
Editeur(s)
Pages
483-486
Présenté à
6th European Conference on Applications of Surface & Interface Analysis, Montreux, October 9-13, 1995
Date
1996
Editeur
Chichester and New York, Wiley & Sons
ISBN
0-471-95899-9
Laboratoires
LTP
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IMX - Institut des matériaux > LTP - Laboratoire de technologie des poudres
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2005-01-12