Laterally excited bulk wave resonators (XBARs) based on thin Lithium Niobate platelet for 5GHz and 13 GHz filters
Plessky, Victor; Yandrapalli, Soumya; Turner, Patrick J.; Villanueva, Luis G.; Koskela, Julius; Faizan, Muhammad; De Pastina, Annalisa; Garcia, Bryant; Costa, Jim; Hammond, Robert B.
2019

Résumé

In a free ZY-LiNbO3 400nm thick platelet, narrow electrodes (500nm wide) placed periodically with a pitch of few micrometers can eXcite standing Bulk Acoustic shear wave Resonances (XBARs), by means of lateral electric field parallel to crystalline Y- axis. The resonance frequency of around 4.8GHz and 13.6GHz are suitable for development of RF filters. The XBARs 3rd, 5th and even 9th harmonics were observed up to 38 GHz.

Détails

Titre Laterally excited bulk wave resonators (XBARs) based on thin Lithium Niobate platelet for 5GHz and 13 GHz filters
Auteur(s) Plessky, Victor ; Yandrapalli, Soumya ; Turner, Patrick J. ; Villanueva, Luis G. ; Koskela, Julius ; Faizan, Muhammad ; De Pastina, Annalisa ; Garcia, Bryant ; Costa, Jim ; Hammond, Robert B.
Publié dans 2019 Ieee Mtt-S International Microwave Symposium (Ims)
Série IEEE MTT-S International Microwave Symposium
Pages 512-515
Présenté à IEEE-MTT-S International Microwave Symposium (IMS), Jun 02-07, 2019, Boston, MA
Date 2019-01-01
Editeur New York, IEEE
ISSN 0149-645X
2576-7216
ISBN 978-1-7281-1309-8
Mots-clés (libres)
DOI https://doi.org/10.1109/MWSYM.2019.8700876
Autres identifiant(s) Afficher la publication dans Web of Science
Laboratoires NEMS
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Publié
Date de création de la notice 2019-11-29