Phase masks for electron microscopy fabricated by thermal scanning probe lithography
2019
Fichiers
Détails
Titre
Phase masks for electron microscopy fabricated by thermal scanning probe lithography
Auteur(s)
Hettler, Simon ; Radtke, Lucas ; Grünewald, Lukas ; Lisunova, Yuliya ; Peric, Oliver ; Brugger, Juergen ; Bonanni, Simon
Publié dans
Micron
Volume
127
Pages
102753
Date
2019-10-03
Autres identifiant(s)
DOI: https://doi.org/10.1016/j.micron.2019.102753
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2019-10-10