Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners
2018
Détails
Titre
Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners
Auteur(s)
del Corro, PG ; Imboden, M ; Perez, DJ ; Bishop, DJ ; Pastoriza, H
Publié dans
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
Volume
271
Pages
409-417
Date
2018
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LMTS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMTS - Laboratoire des microsystèmes souples
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > LMTS - Laboratoire des Microsystèmes Souples
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2018-11-08