Microfabricated high temperature sensing platform dedicated to scanning thermal microscopy (SThM)
2018
Détails
Titre
Microfabricated high temperature sensing platform dedicated to scanning thermal microscopy (SThM)
Auteur(s)
Nguyen, T.P.
; Lemaire, Etienne Pierre
; Euphrasie, S.
; Thiery, L.
; Teyssieux, D.
; Briand, Danick
; Vairac, P.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
275
Pages
109-118
Date
2018-06-01
Laboratoires
LMTS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMTS - Laboratoire des microsystèmes souples
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > LMTS - Laboratoire des Microsystèmes Souples
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > LMTS - Laboratoire des Microsystèmes Souples
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Date de création de la notice
2018-04-28