Complex image method for RF antenna-plasma inductive coupling calculation in planar geometry: II. Measurements on a resonant network (vol 24, 065015, 2015)


Publié dans:
Plasma Sources Science & Technology, 26, 12, 129501
Année
2017
Publisher:
Bristol, Iop Publishing Ltd
ISSN:
0963-0252
Laboratoires:




 Notice créée le 2017-12-04, modifiée le 2020-07-29


Évaluer ce document:

Rate this document:
1
2
3
 
(Pas encore évalué)