Complex image method for RF antenna-plasma inductive coupling calculation in planar geometry: II. Measurements on a resonant network (vol 24, 065015, 2015)
2017
Détails
Titre
Complex image method for RF antenna-plasma inductive coupling calculation in planar geometry: II. Measurements on a resonant network (vol 24, 065015, 2015)
Auteur(s)
Guittienne, Ph ; Jacquier, R. ; Howling, A. A. ; Furno, I.
Publié dans
Plasma Sources Science & Technology
Pagination
1
Volume
26
Numéro
12
Pages
129501
Date
2017
Editeur
Bristol, Iop Publishing Ltd
ISSN
0963-0252
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
SPC
Le document apparaît dans
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Date de création de la notice
2017-12-04