Diélectriques multicouches – ESL 4913 & 4917

Qualification du nouveau diélectrique ESL 4917 & problèmes de compatibilité avec certains conducteurs – détermination d'une solution pratique par mélange entre les diélectriques ESL 4913 et ESL 4917. Le diélectrique standard ESL (ElectroScience Laboratories) 4913 offre une bonne compatibilité avec les couches épaisses, mais a le défaut de trop couler à la sérigraphie. Le nouveau diélectrique ESL 4917 est plus vitreux et semble plus dense, et a en plus l'avantage d'être aussi semi-transparent, ce qui permet une vérification des couches intérieures. Cependant, si ESL4917 est bien compatible avec les conducteurs riches en Ag, des délaminations spontanées sont apparues avec le conducteur Ag:Pd plus richement allié en Pd, ESL 9635G ; l'incompatibilité entre la fritte de verre de ce dernier et ESL 4917, plus vitreux, en est probablement la cause. Le mélange des deux diélectriques, en proportion ESL 4913:4917 1:1 ou 1:2, permet largement de résoudre ces problèmes : le résultat est raisonnablement dense, et on obtient apparemment une bonne compatibilité avec ESL 9635G, surtout si celui-ci est déposé sur une couche de fond riche en Ag.


Year:
2012
Publisher:
Lausanne (CH), EPFL-LPM
Keywords:
Note:
Formulation de diélectrique pour CentoNewton-B & applications similaires
Laboratories:




 Record created 2017-07-08, last modified 2018-01-28


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