Résumé
A waveguide fabrication method including the steps of providing a substrate including at least one waveguide recess structure and a stress release recess structure for receiving a waveguide material, and depositing the waveguide material onto the substrate and into both the waveguide recess structure and the stress release recess structure.
Détails
Titre
Waveguide Fabrication Method
Auteur(s)
Kippenberg, Tobias ; Pfeiffer, Martin Hubert Peter ; Kordts, Arne
Date
2016
Mots-clés (libres)
Note
Alternative title(s) :
(en) Waveguide fabrication method
Autres identifiant(s)
EPO Family ID: 57221860
Numéro(s) de brevet
US10191215 (B2)
US2016327743 (A1)
US2016327743 (A1)
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LPQM - Laboratoire de photonique et mesures quantiques (STI/SB)
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > IPHYS - Institut de physique > LPQM - Laboratoire de photonique et mesures quantiques (STI/SB)
Production scientifique et compétences > Unités non-académiques > TTO - Office de transfert de technologies
Travail produit à l'EPFL
Brevets
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > IPHYS - Institut de physique > LPQM - Laboratoire de photonique et mesures quantiques (STI/SB)
Production scientifique et compétences > Unités non-académiques > TTO - Office de transfert de technologies
Travail produit à l'EPFL
Brevets
Date de création de la notice
2017-05-11