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Abstract

Offset non ajusté de la 2ème version des poutres MilliNewton (épaisseur 0.25, 0.4 et 0.63 mm), sérigraphiées sur 2 faces mais avec la même trame. L'utilisation de la même trame, sans démontage, pour sérigraphier les résistances de jauge sur les deux faces de la poutre MilliNewton permet un bon appariement des résistances, et donc une assez faible dispersion de l'offset. L'amélioration des conditions de cuisson permet une faible différence de résistivité (env. 5%) entre les deux faces. Les mesures préliminaires en batch de TCO sont prometteuses, avec des coefficients de max. 3 μV/V/K. Cependant, fiabilité de la mesure de TCO en batch doit encore être établie ; en effet, la mesure est perturbée par le signal parasite généré par la force exercée par les pointes de contact sur le substrat.

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