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Offset et coefficient en température de poutres monofaces en fonction de la procédure de sérigraphie et des terminaisons

Mesure de l'offset et de son coefficient en température des prototypes de capteurs de force brasés monoface. Les poutres sont mesurées en substrat, non ajustées et sans verrage, en fonction de la procédure de sérigraphie et du type de terminaison utilisé pour les résistances, Ag:Pd ou Au. La 2e mouture des capteurs de force monoface a permis une nette amélioration des valeurs de l'offset et du TCO. L'offset est centré vers –35 mV/V et son écart-type est de l'ordre de. 20 mV/V. Ces valeurs dépendent peu de la procédure de sérigraphie ou du type de terminaison (Ag:Pd ou Au). La dispersion doit encore être diminuée, car il y a encore des poutres dont l'offset dépasse 0, et qui sont donc non ajustables. Il faudra essayer de sérigraphier parallèlement aux poutres, de sorte à annuler la dispersion latérale le long de la racle. Les valeurs de TCO sont nettement meilleures avec les terminaisons Au (écart-type 0.6 µV/V/K) qu'avec les terminaisons Ag:Pd (1.4 µV/V/K). Sur Au, on peut, moyennant quelques efforts supplémentaires, garantir une erreur thermique d'env. 3% du span sur une plage d'utilisation de ±25 K. Avec les terminaisons Au, la procédure de sérigraphie influe peu sur les résultats, et on choisit donc la plus commode (2), qui fait intervenir une re-cuisson des résistances. Avec Ag:Pd, par contre, la dispersion de TCO est un peu plus faible avec une seule cuisson des résistances, et on peut donc choisir une autre procédure (1), qui a cependant le désavantage d'augmenter le nombre de changements de trame et de co-cuissons.

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