Détails
Titre
Progress towards critical dimension low vacuum scanning electron microscopy
Auteur(s)
Tileli, Vasiliki
Date
2009
Editeur
ProQuest Dissertations And Theses
ISBN
9781109524116
Lien supplémentaire
URL
Laboratoires
INE
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IMX - Institut des matériaux > INE - Laboratoire pour la caractérisation in situ des nanomatériaux par des électrons
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Travail hors EPFL
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Date de création de la notice
2016-04-22