Fabrication of suspended hollow micro-resonators integrated with PZE electrodes
2015
Résumé
Fabrication of suspended hollow micro-resonators integrated with PZE electrodes
Détails
Titre
Fabrication of suspended hollow micro-resonators integrated with PZE electrodes
Auteur(s)
De Pastina, Annalisa ; Villanueva, Guillermo
Présenté à
18th Conference in NanoBioTech, Montreux, November 2015
Date
2015
Laboratoires
NEMS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Travail produit à l'EPFL
Posters
Travail produit à l'EPFL
Posters
Date de création de la notice
2016-03-18