Pyrolysed carbon resonators – Fabrication and characterization
Amato, Letizia; Amato, Bartolo; Villanueva, Guillermo; Emnéus, J.; Heiskanen, A.; Keller, S.S.; Boisen, A.; Schmid, S.
2013

Résumé

Study of resonators composed of silicon nitride and pyrolysed carbon.

Détails

Titre Pyrolysed carbon resonators – Fabrication and characterization
Auteur(s) Amato, Letizia ; Amato, Bartolo ; Villanueva, Guillermo ; Emnéus, J. ; Heiskanen, A. ; Keller, S.S. ; Boisen, A. ; Schmid, S.
Présenté à 39th International Conference on Micro- and Nano- Engineering (MNE), 2013, London, September, 2013
Date 2013
Laboratoires NEMS
Le document apparaît dans Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Travail hors EPFL
Posters
Date de création de la notice 2016-03-17

Actions