Monolithic fabrication of silicon nanowires bridging thick silicon structures
2015
Fichiers
Détails
Titre
Monolithic fabrication of silicon nanowires bridging thick silicon structures
Auteur(s)
Tasdemir, Zuhal ; Peric, Oliver ; Sacchetto, Davide ; Fantner, Georg ; Leblebici, Yusuf ; Alaca, B.E.
Publié dans
IEEE Nanotechnology Express
Volume
1
Pages
2-5
Date
2015
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IBI-STI - Institut Interfacultaire de Bioingénierie > LBNI - Laboratoire de bio- et nano-instrumentation
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LSM - Laboratoire de systèmes microélectroniques
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
Publié
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Date de création de la notice
2015-12-10