Einfluss von plasma-physikalischen und plasma-chemischen eigenschaften von VHF Silan Plasmen auf die Abscheidung von amorphem und mikrokistallinem Silizium - Projektbericht CRPP, Zweite Etappe 1991-1993
1994
Files
Details
Title
Einfluss von plasma-physikalischen und plasma-chemischen eigenschaften von VHF Silan Plasmen auf die Abscheidung von amorphem und mikrokistallinem Silizium - Projektbericht CRPP, Zweite Etappe 1991-1993
Author(s)
Hollenstein, Chrisoph ; Courteille, Catherine ; Dorier, Jean-Luc ; Dutta, Joydeep ; Howling, Alan ; Sansonnens, Laurent
Pagination
33
Date
1994
Publisher
CRPP, Lausanne
Keywords
Laboratories
SPC
Record Appears in
Scientific production and competences > SB - School of Basic Sciences > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Work produced at EPFL
Technical Reports
Work produced at EPFL
Technical Reports
Record creation date
2015-10-26