Einfluss von Plasma-physikalischen und Plasma-chemischen Eigenschaften von VHF Silan-Plasmen auf die Abscheidung von amorphem und mikrokristallinem Silizium - Jahresbericht 1993
1993
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Details
Title
Einfluss von Plasma-physikalischen und Plasma-chemischen Eigenschaften von VHF Silan-Plasmen auf die Abscheidung von amorphem und mikrokristallinem Silizium - Jahresbericht 1993
Author(s)
Hollenstein, Christoph ; Howling, Alan ; Dorier, Jean-Luc
Pagination
9
Date
1993
Publisher
CRPP, Lausanne
Keywords
Laboratories
SPC
Record Appears in
Scientific production and competences > SB - School of Basic Sciences > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Work produced at EPFL
Technical Reports
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Technical Reports
Record creation date
2015-10-26