Rapport annuel 1990 - PADEX: Propriétés physiques des plasmas RF de silane utilisés dans le dépôt de couches de silicium amorphe
1990
Fichiers
Détails
Titre
Rapport annuel 1990 - PADEX: Propriétés physiques des plasmas RF de silane utilisés dans le dépôt de couches de silicium amorphe
Auteur(s)
Hollenstein, Christoph ; Howling, Alan ; Paris, Pierre Jean
Pagination
10
Date
1990
Editeur
CRPP, Lausanne
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
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Date de création de la notice
2015-08-26