Rapport annuel 1990 - PADEX: Propriétés physiques des plasmas RF de silane utilisés dans le dépôt de couches de silicium amorphe
1990
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Title
Rapport annuel 1990 - PADEX: Propriétés physiques des plasmas RF de silane utilisés dans le dépôt de couches de silicium amorphe
Author(s)
Hollenstein, Christoph ; Howling, Alan ; Paris, Pierre Jean
Pagination
10
Date
1990
Publisher
CRPP, Lausanne
Keywords
Laboratories
CRPP
SPC
SPC
Record Appears in
Scientific production and competences > SB - School of Basic Sciences > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Work produced at EPFL
Technical Reports
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Record creation date
2015-08-26