Electrostatically Actuated Micromirrors for Resonant Cavity Enhanced Detectors, MicroNanoFabrication
Quack, Niels; Rust, Philipp; Blunier, Stefan; Dual, Jurg; Arnold, Martin; Felder, Ferdinand; Rahim, Mohamed; Zogg, Hans
2008

Résumé

Electrostatically Actuated Micromirrors for Resonant Cavity Enhanced Detectors, MicroNanoFabrication

Détails

Titre Electrostatically Actuated Micromirrors for Resonant Cavity Enhanced Detectors, MicroNanoFabrication
Auteur(s) Quack, Niels ; Rust, Philipp ; Blunier, Stefan ; Dual, Jurg ; Arnold, Martin ; Felder, Ferdinand ; Rahim, Mohamed ; Zogg, Hans
Présenté à Annual Review Meeting, Lausanne, Switzerland, May 20, 2008
Date 2008
Laboratoires Q-LAB
Le document apparaît dans Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > Q-LAB - Groupe Quack
Travail hors EPFL
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Date de création de la notice 2015-07-08